បើប្រៀបធៀបជាមួយឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកថាមពលដែលមានមូលដ្ឋានលើស៊ីលីកុន ស៊ីស៊ី (ស៊ីលីកុន កាបូន) សារធាតុ semiconductors ថាមពលមានគុណសម្បត្តិយ៉ាងសំខាន់ក្នុងការប្តូរប្រេកង់ ការបាត់បង់ ការសាយភាយកំដៅ ការបង្រួមតូចជាដើម។
ជាមួយនឹងការផលិតទ្រង់ទ្រាយធំនៃអាំងវឺតទ័រស៊ីលីកុនកាបូនដោយក្រុមហ៊ុន Tesla ក្រុមហ៊ុនជាច្រើនទៀតក៏បានចាប់ផ្តើមផលិតផលិតផលស៊ីលីកុនកាបូនផងដែរ។
SiC អស្ចារ្យណាស់តើវាបង្កើតនៅលើផែនដីយ៉ាងដូចម្តេច?តើកម្មវិធីអ្វីខ្លះឥឡូវនេះ?សូមមើល!
០១ ☆ កំណើតនៃស៊ីស៊ី
ដូចឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកថាមពលផ្សេងទៀត ខ្សែសង្វាក់ឧស្សាហកម្ម SiC-MOSFET រួមបញ្ចូលគ្រីស្តាល់វែង - ស្រទាប់ខាងក្រោម - epitaxy - ការរចនា - ការផលិត - តំណភ្ជាប់វេចខ្ចប់។
គ្រីស្តាល់វែង
ក្នុងអំឡុងពេលនៃតំណភ្ជាប់គ្រីស្តាល់ដ៏វែង មិនដូចការរៀបចំវិធីសាស្ត្រ Tira ដែលប្រើដោយស៊ីលីកុនគ្រីស្តាល់តែមួយនោះទេ ស៊ីលីកុនកាបូនភាគច្រើនប្រកាន់យកវិធីសាស្ត្រដឹកជញ្ជូនឧស្ម័នរូបវ័ន្ត (PVT ដែលត្រូវបានគេស្គាល់ផងដែរថាជា Lly ដែលត្រូវបានកែលម្អ ឬវិធីសាស្ត្រ sublimation គ្រីស្តាល់គ្រាប់ពូជ) វិធីសាស្ត្រដាក់ឧស្ម័នគីមីសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ( HTCVD ) អាហារបំប៉ន។
☆ ជំហានស្នូល
1. វត្ថុធាតុដើមរឹងកាបូន;
2. បន្ទាប់ពីកំដៅ, រឹង carbide ក្លាយជាឧស្ម័ន;
3. ឧស្ម័នផ្លាស់ទីទៅផ្ទៃនៃគ្រីស្តាល់គ្រាប់ពូជ;
4. ឧស្ម័នដុះលើផ្ទៃនៃគ្រីស្តាល់គ្រាប់ពូជទៅជាគ្រីស្តាល់។
ប្រភពរូបភាព៖ "ចំណុចបច្ចេកទេសដើម្បីផ្តាច់ PVT ស៊ីលីកុន carbide លូតលាស់"
សិប្បកម្មផ្សេងៗគ្នាបានបណ្តាលឱ្យមានគុណវិបត្តិធំពីរបើប្រៀបធៀបទៅនឹងមូលដ្ឋានស៊ីលីកុន:
ទីមួយ ការផលិតមានការលំបាក ហើយទិន្នផលទាប។សីតុណ្ហភាពនៃដំណាក់កាលឧស្ម័នកាបូនិកកើនឡើងលើសពី 2300 ° C និងសម្ពាធគឺ 350MPa ។ប្រអប់ងងឹតទាំងមូលត្រូវបានអនុវត្តហើយវាងាយស្រួលក្នុងការលាយចូលទៅក្នុងភាពមិនបរិសុទ្ធ។ទិន្នផលគឺទាបជាងមូលដ្ឋានស៊ីលីកុន។អង្កត់ផ្ចិតធំជាង ទិន្នផលកាន់តែទាប។
ទីពីរគឺការលូតលាស់យឺត។អភិបាលកិច្ចនៃវិធីសាស្រ្ត PVT គឺយឺតណាស់ ល្បឿនគឺប្រហែល 0.3-0.5mm/h ហើយវាអាចកើនឡើង 2cm ក្នុងរយៈពេល 7 ថ្ងៃ។អតិបរមាអាចលូតលាស់បានត្រឹមតែ 3-5cm ហើយអង្កត់ផ្ចិតនៃគ្រីស្តាល់ ingot ភាគច្រើនគឺ 4 អ៊ីញ និង 6 អ៊ីញ។
72H ដែលមានមូលដ្ឋានលើស៊ីលីកុនអាចលូតលាស់ដល់កម្ពស់ 2-3 ម ជាមួយនឹងអង្កត់ផ្ចិតភាគច្រើន 6 អ៊ីញ និង 8 អ៊ីញ សមត្ថភាពផលិតថ្មីសម្រាប់ 12 អ៊ីញ។ដូច្នេះ ស៊ីលីកុន កាបូអ៊ីដ ត្រូវបានគេហៅថា គ្រីស្តាល់ អ៊ីងហ្គូត ហើយស៊ីលីកុន ក្លាយជាបន្ទះគ្រីស្តាល់។
ការបញ្ចូលគ្រីស្តាល់ស៊ីលីកុនកាបូន
ស្រទាប់ខាងក្រោម
បន្ទាប់ពីគ្រីស្តាល់ដ៏វែងត្រូវបានបញ្ចប់វាចូលទៅក្នុងដំណើរការផលិតនៃស្រទាប់ខាងក្រោម។
បន្ទាប់ពីការកាត់តាមគោលដៅ ការកិន (ការកិនរដុប ការកិនល្អ) ការប៉ូលា (ប៉ូលាមេកានិក) ការប៉ូលាភាពជាក់លាក់ (ការប៉ូលាមេកានិកគីមី) ស្រទាប់ខាងក្រោមស៊ីលីកុនកាបូនត្រូវបានទទួល។
ស្រទាប់ខាងក្រោមដើរតួជាចម្បងតួនាទីនៃការគាំទ្ររាងកាយ ចរន្តកំដៅ និងចរន្ត។ភាពលំបាកនៃដំណើរការគឺថា សារធាតុស៊ីលីកុន កាបូអ៊ីដ្រាត ខ្ពស់ រលោង និងមានស្ថេរភាពក្នុងលក្ខណៈគីមី។ដូច្នេះ វិធីសាស្ត្រកែច្នៃស៊ីលីកុនបែបប្រពៃណីមិនស័ក្តិសមសម្រាប់ស្រទាប់ខាងក្រោមស៊ីលីកុនកាបៃទេ។
គុណភាពនៃប្រសិទ្ធភាពនៃការកាត់ប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់ទៅលើការអនុវត្ត និងប្រសិទ្ធភាពនៃការប្រើប្រាស់ (តម្លៃ) នៃផលិតផលស៊ីលីកុនកាបូន ដូច្នេះវាត្រូវបានគេតម្រូវឱ្យមានទំហំតូច កម្រាស់ឯកសណ្ឋាន និងការកាត់ទាប។
នៅពេលបច្ចុប្បន្ន,4-inch និង 6-inch ភាគច្រើនប្រើឧបករណ៍កាត់ពហុបន្ទាត់កាត់គ្រីស្តាល់ស៊ីលីកុនចូលទៅក្នុងចំណិតស្តើងដែលមានកម្រាស់មិនលើសពី 1 ម។
ដ្យាក្រាមកាត់ពហុជួរ
នៅពេលអនាគត ជាមួយនឹងការកើនឡើងនៃទំហំនៃ wafers ស៊ីលីកុនកាបូន ការកើនឡើងនៃតម្រូវការប្រើប្រាស់សម្ភារៈនឹងកើនឡើង ហើយបច្ចេកវិទ្យាដូចជាការកាត់ឡាស៊ែរ និងការបំបែកត្រជាក់ក៏នឹងត្រូវបានអនុវត្តជាបណ្តើរៗផងដែរ។
នៅឆ្នាំ 2018 Infineon បានទិញយក Siltectra GmbH ដែលបានបង្កើតដំណើរការប្រកបដោយភាពច្នៃប្រឌិតដែលគេស្គាល់ថាជាការបំបែកត្រជាក់។
បើប្រៀបធៀបជាមួយនឹងដំណើរការកាត់ពហុខ្សែប្រពៃណី ការបាត់បង់ 1/4,ដំណើរការបំបែកត្រជាក់បានបាត់បង់ត្រឹមតែ 1/8 នៃសម្ភារៈស៊ីលីកុនកាបូន។
ផ្នែកបន្ថែម
ដោយសារសម្ភារៈស៊ីលីកុនកាបូនមិនអាចបង្កើតឧបករណ៍ថាមពលដោយផ្ទាល់នៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម ឧបករណ៍ផ្សេងៗត្រូវបានទាមទារនៅលើស្រទាប់បន្ថែម។
ដូច្នេះបន្ទាប់ពីការផលិតស្រទាប់ខាងក្រោមត្រូវបានបញ្ចប់ ខ្សែភាពយន្តស្តើងគ្រីស្តាល់ជាក់លាក់មួយត្រូវបានដាំដុះនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមតាមរយៈដំណើរការផ្នែកបន្ថែម។
នាពេលបច្ចុប្បន្ននេះ ដំណើរការនៃវិធីសាស្ត្រដាក់ឧស្ម័នគីមី (CVD) ត្រូវបានប្រើប្រាស់ជាចម្បង។
រចនា
បន្ទាប់ពីស្រទាប់ខាងក្រោមត្រូវបានបង្កើតឡើងវាចូលទៅក្នុងដំណាក់កាលរចនាផលិតផល។
សម្រាប់ MOSFET ការផ្តោតសំខាន់នៃដំណើរការរចនាគឺការរចនានៃចង្អូរ។នៅលើដៃម្ខាងដើម្បីជៀសវាងការរំលោភប៉ាតង់(Infineon, Rohm, ST ជាដើម មានប្លង់ប៉ាតង់) ហើយម្យ៉ាងវិញទៀតឆ្លើយតបនឹងតម្លៃផលិតកម្ម និងផលិតកម្ម។
ការផលិត wafer
បន្ទាប់ពីការរចនាផលិតផលត្រូវបានបញ្ចប់ វាចូលទៅក្នុងដំណាក់កាលផលិត wafer,ហើយដំណើរការគឺប្រហាក់ប្រហែលនឹងស៊ីលីកុន ដែលភាគច្រើនមាន 5 ជំហានដូចខាងក្រោម។
☆ ជំហានទី 1: ចាក់ម៉ាស
ស្រទាប់នៃខ្សែភាពយន្តស៊ីលីកុនអុកស៊ីដ (SiO2) ត្រូវបានបង្កើតឡើង សារធាតុ photoresist ត្រូវបានស្រោប លំនាំ photoresist ត្រូវបានបង្កើតឡើងតាមរយៈជំហាននៃភាពដូចគ្នា ការប៉ះពាល់ ការអភិវឌ្ឍន៍។
☆ ជំហានទី 2៖ ការដាក់បញ្ចូលអ៊ីយ៉ុង
ក្រដាសបិទបាំងស៊ីលីកុន កាបូនអ៊ីយ៉ុង ត្រូវបានដាក់ចូលទៅក្នុងកន្លែងដាក់អ៊ីយ៉ុង ដែលអ៊ីយ៉ុងអាលុយមីញ៉ូមត្រូវបានចាក់ ដើម្បីបង្កើតជាតំបន់សារធាតុពុលប្រភេទ P និងត្រូវបានចាក់បញ្ចូលដើម្បីធ្វើឱ្យអ៊ីយ៉ុងអាលុយមីញ៉ូមដែលបានបញ្ចូល។
ខ្សែភាពយន្តអុកស៊ីដត្រូវបានដកចេញ អ៊ីយ៉ុងអាសូតត្រូវបានចាក់ចូលទៅក្នុងតំបន់ជាក់លាក់មួយនៃតំបន់ doping ប្រភេទ P ដើម្បីបង្កើតជាតំបន់ចំហាយប្រភេទ N នៃបំពង់បង្ហូរ និងប្រភព ហើយអ៊ីយ៉ុងអាសូតដែលត្រូវបានផ្សាំត្រូវបាន annealed ដើម្បីធ្វើឱ្យពួកវាសកម្ម។
☆ ជំហានទី 3៖ បង្កើតក្រឡាចត្រង្គ
ធ្វើក្រឡាចត្រង្គ។នៅក្នុងតំបន់រវាងប្រភព និងបង្ហូរ ស្រទាប់អុកស៊ីដច្រកទ្វារត្រូវបានរៀបចំដោយដំណើរការអុកស៊ីតកម្មសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ហើយស្រទាប់អេឡិចត្រូតច្រកទ្វារត្រូវបានដាក់ដើម្បីបង្កើតរចនាសម្ព័ន្ធគ្រប់គ្រងច្រកទ្វារ។
☆ ជំហានទី 4: បង្កើតស្រទាប់ passivation
ស្រទាប់ Passivation ត្រូវបានបង្កើតឡើង។ដាក់ស្រទាប់ passivation ដែលមានលក្ខណៈអ៊ីសូឡង់ល្អដើម្បីការពារការបំបែកអន្តរអេឡិចត្រូត។
☆ ជំហានទី 5: បង្កើតអេឡិចត្រូតប្រភពបង្ហូរ
ធ្វើឱ្យបង្ហូរនិងប្រភព។ស្រទាប់ passivation ត្រូវបាន perforated ហើយលោហៈត្រូវបាន sputtered ដើម្បីបង្កើតបង្ហូរនិងប្រភពមួយ។
ប្រភពរូបភាព៖ Xinxi Capital
ទោះបីជាមានភាពខុសប្លែកគ្នាតិចតួចរវាងកម្រិតដំណើរការ និងផ្អែកលើស៊ីលីកុនក៏ដោយ ដោយសារតែលក្ខណៈនៃសមា្ភារៈស៊ីលីកុនកាបូន។ការផ្សាំអ៊ីយ៉ុង និងការបញ្ចូលអ៊ីយ៉ុង ចាំបាច់ត្រូវធ្វើឡើងក្នុងបរិយាកាសសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។(រហូតដល់ 1600 ° C) សីតុណ្ហភាពខ្ពស់នឹងប៉ះពាល់ដល់រចនាសម្ព័ន្ធបន្ទះឈើនៃសម្ភារៈខ្លួនឯងហើយការលំបាកក៏នឹងប៉ះពាល់ដល់ទិន្នផលផងដែរ។
លើសពីនេះទៀតសម្រាប់សមាសធាតុ MOSFET ។គុណភាពនៃច្រកទ្វារអុកស៊ីសែនប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់ដល់ការចល័តឆានែល និងភាពជឿជាក់នៃច្រកទ្វារដោយសារតែមានអាតូមស៊ីលីកុន និងកាបូនពីរប្រភេទនៅក្នុងសម្ភារៈស៊ីលីកុនកាបូន។
ដូច្នេះ វិធីសាស្ត្រលូតលាស់មធ្យមនៃច្រកទ្វារពិសេសមួយគឺត្រូវបានទាមទារ (ចំណុចមួយទៀតគឺថាសន្លឹកស៊ីលីកុនកាបូនមានតម្លាភាព ហើយការតម្រឹមទីតាំងនៅដំណាក់កាល photolithography គឺពិបាកក្នុងការស៊ីលីកុន)។
បន្ទាប់ពីការផលិត wafer ត្រូវបានបញ្ចប់ បន្ទះឈីបបុគ្គលត្រូវបានកាត់ចូលទៅក្នុងបន្ទះឈីបទទេ ហើយអាចត្រូវបានវេចខ្ចប់តាមគោលបំណង។ដំណើរការទូទៅសម្រាប់ឧបករណ៍ដាច់ពីគ្នាគឺកញ្ចប់ TO ។
650V CoolSiC™ MOSFETs ក្នុងកញ្ចប់ TO-247
រូបថត៖ Infineon
វាលរថយន្តមានតម្រូវការបញ្ចេញថាមពល និងកំដៅខ្ពស់ ហើយជួនកាលចាំបាច់ត្រូវបង្កើតសៀគ្វីស្ពានដោយផ្ទាល់ (ស្ពានពាក់កណ្តាល ឬស្ពានពេញ ឬខ្ចប់ដោយផ្ទាល់ជាមួយឌីយ៉ូត)។
ដូច្នេះ ជារឿយៗវាត្រូវបានខ្ចប់ដោយផ្ទាល់ទៅក្នុងម៉ូឌុល ឬប្រព័ន្ធ។យោងតាមចំនួនបន្ទះសៀគ្វីដែលបានខ្ចប់ក្នុងម៉ូឌុលតែមួយ ទម្រង់ទូទៅគឺ 1 ក្នុង 1 (BorgWarner), 6 in 1 (Infineon) ។ល។ ហើយក្រុមហ៊ុនខ្លះប្រើគ្រោងការណ៍ប៉ារ៉ាឡែលបំពង់តែមួយ។
Borgwarner Viper
គាំទ្រការត្រជាក់ទឹកទ្វេរដង និង SiC-MOSFET
ម៉ូឌុល Infineon CoolSiC™ MOSFET
មិនដូចស៊ីលីកុនទេម៉ូឌុល silicon carbide ដំណើរការនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ជាងប្រហែល 200 ° C ។
ប្រពៃណីទន់ solder សីតុណ្ហភាពចំណុចរលាយគឺទាប, មិនអាចបំពេញតាមតម្រូវការសីតុណ្ហភាព។ដូច្នេះ ម៉ូឌុលស៊ីលីកុន កាបូអ៊ីដ ជារឿយៗប្រើដំណើរការផ្សារដែកស៊ីលីកុនដែលមានសីតុណ្ហភាពទាប។
បន្ទាប់ពីម៉ូឌុលត្រូវបានបញ្ចប់វាអាចត្រូវបានអនុវត្តទៅប្រព័ន្ធផ្នែក។
ឧបករណ៍បញ្ជាម៉ូទ័រ Tesla Model3
បន្ទះឈីបទទេបានមកពី ST កញ្ចប់ដែលបង្កើតដោយខ្លួនឯង និងប្រព័ន្ធដ្រាយអគ្គិសនី
☆02 ស្ថានភាពកម្មវិធីរបស់ SiC?
នៅក្នុងវិស័យរថយន្តឧបករណ៍ថាមពលត្រូវបានប្រើជាចម្បងនៅក្នុងDCDC, OBC, អាំងវឺតទ័រម៉ូទ័រ, អាំងវឺតទ័រម៉ាស៊ីនត្រជាក់អគ្គិសនី, ការសាកឥតខ្សែ និងផ្នែកផ្សេងៗទៀតដែលទាមទារការបំប្លែងលឿន AC/DC (DCDC ជាចម្បងដើរតួជាកុងតាក់រហ័ស)។
រូបថត៖ BorgWarner
បើប្រៀបធៀបជាមួយវត្ថុធាតុដើមដែលមានមូលដ្ឋានលើស៊ីលីកុន សម្ភារៈ SIC មានខ្ពស់ជាងកម្លាំងវាលបំបែកការធ្លាក់ព្រិលដ៏សំខាន់(3 × 106V / សង់ទីម៉ែត្រ),ចរន្តកំដៅកាន់តែប្រសើរ(49W/mK) និងគម្លាតក្រុមកាន់តែទូលំទូលាយ(3.26eV) ។
គម្លាតក្រុមតន្ត្រីកាន់តែធំ ចរន្តលេចធ្លាយកាន់តែតូច និងប្រសិទ្ធភាពកាន់តែខ្ពស់។ចរន្តកំដៅកាន់តែល្អ ដង់ស៊ីតេបច្ចុប្បន្នកាន់តែខ្ពស់។វាលបែកបាក់ធ្លាក់ខ្លាំងជាងនេះ ភាពធន់នឹងវ៉ុលរបស់ឧបករណ៍អាចត្រូវបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើង។
ដូច្នេះនៅក្នុងវាលនៃតង់ស្យុងខ្ពស់នៅលើយន្តហោះ MOSFETs និង SBD ដែលរៀបចំដោយសមា្ភារៈស៊ីលីកុនកាបោនដើម្បីជំនួសការរួមផ្សំ IGBT និង FRD ដែលមានមូលដ្ឋានលើស៊ីលីកុនអាចធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវថាមពលនិងប្រសិទ្ធភាព។ជាពិសេសនៅក្នុងសេណារីយ៉ូកម្មវិធីដែលមានប្រេកង់ខ្ពស់ ដើម្បីកាត់បន្ថយការបាត់បង់ការប្តូរ។
នាពេលបច្ចុប្បន្ននេះ វាទំនងជាអាចសម្រេចបាននូវកម្មវិធីខ្នាតធំនៅក្នុងម៉ូទ័រអាំងវឺតទ័រ បន្ទាប់មក OBC និង DCDC ។
វេទិកាវ៉ុល 800V
នៅក្នុងវេទិកាវ៉ុល 800V អត្ថប្រយោជន៍នៃប្រេកង់ខ្ពស់ធ្វើឱ្យសហគ្រាសមានទំនោរក្នុងការជ្រើសរើសដំណោះស្រាយ SiC-MOSFET ។ដូច្នេះភាគច្រើននៃផែនការគ្រប់គ្រងអេឡិចត្រូនិច 800V បច្ចុប្បន្ន SiC-MOSFET ។
ការធ្វើផែនការកម្រិតវេទិការួមមានទំនើប E-GMP, GM Otenergy - កន្លែងជ្រើសរើសរថយន្ត Porsche PPE និង Tesla EPA ។លើកលែងតែម៉ូដែលវេទិកា Porsche PPE ដែលមិនអនុវត្តជាក់ស្តែង SiC-MOSFET (ម៉ូដែលដំបូងគឺ IGBT ដែលមានមូលដ្ឋានលើស៊ីលីកា) វេទិការថយន្តផ្សេងទៀតទទួលយកគ្រោងការណ៍ SiC-MOSFET ។
វេទិកាថាមពលជ្រុលជាសកល
ការធ្វើផែនការម៉ូដែល 800V គឺកាន់តែច្រើន,យីហោ The Great Wall Salon Jiagirong, Beiqi pole Fox S HI version, រថយន្តដ៏ល្អ S01 និង W01, Xiaopeng G9, BMW NK1, Changan Avita E11 បាននិយាយថាវានឹងអនុវត្តវេទិកា 800V បន្ថែមពីលើ BYD, Lantu, GAC 'an, Mercedes-Benz, zero Run, FAW Red Flag, Volkswagen ក៏បាននិយាយថាបច្ចេកវិទ្យា 800V នៅក្នុងការស្រាវជ្រាវ។
ពីស្ថានភាពនៃការបញ្ជាទិញ 800V ដែលទទួលបានដោយអ្នកផ្គត់ផ្គង់ Tier1,BorgWarner, Wipai Technology, ZF, United Electronics, និង Huichuanទាំងអស់បានប្រកាសការបញ្ជាទិញដ្រាយអគ្គីសនី 800V ។
វេទិកាវ៉ុល 400V
នៅក្នុងវេទិកាវ៉ុល 400V SiC-MOSFET ជាចម្បងនៅក្នុងការពិចារណានៃថាមពលខ្ពស់និងដង់ស៊ីតេថាមពលនិងប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់។
ដូចជាម៉ូទ័រ Tesla Model 3\Y ដែលត្រូវបានផលិតយ៉ាងច្រើននៅពេលនេះ ថាមពលកំពូលនៃម៉ូទ័រ BYD Hanhou គឺប្រហែល 200Kw (Tesla 202Kw, 194Kw, 220Kw, BYD 180Kw) NIO ក៏នឹងប្រើប្រាស់ផលិតផល SiC-MOSFET ដែលចាប់ផ្តើមពី ET7 ផងដែរ។ និង ET5 ដែលនឹងត្រូវបានរាយនៅពេលក្រោយ។ថាមពលកំពូលគឺ 240Kw (ET5 210Kw) ។
លើសពីនេះ តាមទស្សនៈនៃប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ សហគ្រាសមួយចំនួនក៏កំពុងស្វែងរកលទ្ធភាពនៃការជន់លិចជំនួយផលិតផល SiC-MOSFET ផងដែរ។
ពេលវេលាផ្សាយ៖ កក្កដា-០៨-២០២៣